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ZEISS XENOS測(cè)量?jī)x,挑戰(zhàn)技術(shù)極限發(fā)布日期:2015-04-15 10:16:35
XENOS,此名字令人一下子聯(lián)想到超級(jí)英雄。鑒于新的ZEISS坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度和動(dòng)態(tài)特征正在全面步入創(chuàng)新的更高技術(shù)領(lǐng)域,超級(jí)英雄的形象對(duì)XENOS來(lái)說是如此恰如其分。ZEISS測(cè)量機(jī)XENOS的長(zhǎng)度測(cè)量誤差竟達(dá)到0.3微米-該精度等級(jí)于同類機(jī)器中達(dá)到了絕無(wú)僅有高度。
ZEISS一直不斷地推動(dòng)接觸式測(cè)量的技術(shù)極限,采用的系統(tǒng)包括ZEISSPRISMO、ZEISS UPMC ultra或ZEISS F25。今天,他們?cè)谑澜绺鞯氐膰?guó)家機(jī)構(gòu)中已作為樣板機(jī)使用。
每立方0.3微米
在大約一升的測(cè)量體積上,ZEISS的F25只能測(cè)量小型工件。與之相較,ZEISS XENOS提供的測(cè)量范圍大約為一立方米(900*1500*-700mm)。ZEISS的工程師們?cè)谘邪l(fā)XENOS時(shí)突破傳統(tǒng),采用新的方法,為這種測(cè)量體積設(shè)置了新的標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)也極大地提高了測(cè)量速度。所有的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量只能優(yōu)化到某個(gè)水平上。這種可能性遲早會(huì)用盡,ZEISS XENOS的生產(chǎn)經(jīng)理Konrad Werner解釋。ZEISS XENOS是蔡司*新的創(chuàng)新產(chǎn)品,由于積極采用創(chuàng)新技術(shù)和創(chuàng)新材料,使他不僅代表了極高的精度水平,同時(shí)也是未來(lái)長(zhǎng)期使用的保證,同時(shí)極大地推動(dòng)了技術(shù)極限的向前發(fā)展。
乍一看,新型測(cè)量機(jī)就與以前的頂級(jí)型號(hào)ZEISS PRISMO ultra有明顯的區(qū)別。這種機(jī)械概念來(lái)自于成功ZEISS CenterMax內(nèi)聯(lián)系統(tǒng):自2001年以來(lái),參考機(jī)就已經(jīng)用于生產(chǎn)測(cè)量技術(shù)。固定的側(cè)壁能夠保證整個(gè)系統(tǒng)具有足夠的穩(wěn)定性。因?yàn)樵赮方向只有上橫桿,因此減少了移動(dòng)重量,也就是說與工件移動(dòng)的方式相比,這樣的設(shè)計(jì)保證了更高的運(yùn)行穩(wěn)定性。同時(shí),重量的減少和不變的移動(dòng)質(zhì)量,使驅(qū)動(dòng)裝置的加速度和*大速度具有*佳協(xié)調(diào)性。
虛擬的中心驅(qū)動(dòng)
與其他的系統(tǒng)不同,ZEISS XENOS在所有的軸上都采用直線驅(qū)動(dòng),而不是摩擦驅(qū)動(dòng)。到目前為止,直線驅(qū)動(dòng)在測(cè)量機(jī)上的使用仍屬絕無(wú)僅有。其優(yōu)點(diǎn)在于:速度高、加速度快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力。由于整體設(shè)計(jì)的創(chuàng)新型概念,從而首次降低了導(dǎo)軌和測(cè)量系統(tǒng)直線驅(qū)動(dòng)器之間的力傳遞。加之ZEISS XENOS高分辨率光柵尺的優(yōu)勢(shì),新的驅(qū)動(dòng)器技術(shù)提供的路徑跟蹤能力以及極高的、低于100納米的定位精度。例如,探針的偏差保持更加恒定,從而保證了更高的精度。另一個(gè)好處是測(cè)量曲面時(shí)表現(xiàn)的非常高的路徑跟蹤能力:探針更加可靠準(zhǔn)確地按指定路徑移動(dòng),可以更加精確地識(shí)別錯(cuò)誤。
擁有30年精確驅(qū)動(dòng)器豐富經(jīng)驗(yàn)的蔡司,現(xiàn)在引進(jìn)了虛擬中央驅(qū)動(dòng)器這項(xiàng)專利。全新納入由*新一代的控制器和運(yùn)輸法則啟用的動(dòng)態(tài)質(zhì)量分布功能。